I. Čo je mikrofluidný čip?
Na rozdiel od tradičných čipov je mikrofluidný čip skôr ako "biochemická reakčná platforma" v mikrometrovej mierke. Mikrofluidný čip je konkrétne technologická platforma, ktorá integruje základné operačné jednotky, ako je príprava vzorky, reakcia, separácia a detekcia z oblastí ako biológia, chémia a medicína, na „čip“ v mikrometrovej mierke. To umožňuje rýchlu, efektívnu a automatizovanú analýzu zložitých biochemických procesov.

Keďže mikrofluidné čipy majú mikroštruktúru, tekutiny vykazujú a vytvárajú špeciálne vlastnosti, ktoré sa líšia od vlastností v makroskopickom meradle, čo vedie k vývoju jedinečných analytických schopností.
Mikrofluidné čipy vyžadujú presnú manipuláciu s malými tekutými vzorkami, ako je kontrola prietoku tekutiny, miešanie, reakcia a detekcia. Z tohto hľadiska sú základnými štruktúrami mikrofluidného čipu mikrokanály a mikrootvory. Inými slovami, kvalita výroby mikrokanálov a mikrootvorov priamo ovplyvňuje výkon a účinnosť detekcie mikrofluidného čipu.

II. Porovnanie metód výroby mikrofluidných čipov (s použitím sklenených mikrokanálov ako príkladu)
Tradičné výrobné metódy zahŕňajú:
1. Tradičné mechanické obrábanie: Náchylné na vylamovanie a praskliny.
2. Ultrazvukové obrábanie: Nízka účinnosť, s ťažkosťami pri kontrole jemných povrchových prvkov.
3. Opracovanie abrazívnym lúčom: Vyžaduje si masku a substrát, čo sťažuje výrobu mikrokanálov s vysokým pomerom strán.
4. Rezanie diamantom: Nedostatočná presnosť a nízka efektivita obrábania.
5. Chemické leptanie:
- Mokré leptanie vďaka svojej izotropnej povahe nielenže leptá kanály do hĺbky, ale tiež ich rozširuje horizontálne na povrchu, čo spôsobuje bočné „podrezanie“, ktoré ovplyvňuje presnosť kanála.
- Suché leptanie má na druhej strane nízku efektivitu spracovania.
III. Výhody Femtosekundového laserového spracovania pre mikrofluidné čipy
Primárne mikroštruktúry v mikrofluidných čipoch zahŕňajú slepé drážky, slepé otvory a mikrootvory. Spracovanie femtosekundovým laserom ako špičková-technológia mikro/nano výroby ponúka výhody, ako je vysoká presnosť, bez{2}}kontaktné spracovanie, široká prispôsobivosť materiálu a vysoká rýchlosť spracovania. Vďaka týmto vlastnostiam je obzvlášť vhodný na leptanie mikroštruktúr v mikrofluidných čipoch.
Nižšie analyzujeme výhody spracovania femtosekundovým laserom na základe kľúčových ukazovateľov kvality mikrofluidných čipov:
1. Rozmerová a tvarová presnosť mikrokanálikov a mikrootvorov: Mikrofluidné čipy vyžadujú extrémne vysokú presnosť rozmerov a tvarov mikrokanálikov a mikrootvorov, pretože tieto priamo ovplyvňujú charakteristiky prúdenia tekutín a účinnosť reakcie. Ako ultrarýchly laser má femtosekundový laser bodový priemer len niekoľko mikrometrov až viac ako desať mikrometrov, čo umožňuje vysoko presné leptanie a vŕtanie materiálu-. Napríklad štandardy spracovania od Shenzhen Monocolor Technology demonštrujú, že rozmerová presnosť mikrokanálov a mikrootvorov môže byť kontrolovaná v rozmedzí ± 1 μm, čo spĺňa požiadavky na presnosť väčšiny návrhov pre mikrokanály a iné komponenty.

(Keramické mikrofluidné kanály: prípadová štúdia výroby)
2. Drsnosť povrchu: Povrchy mikrokanálov a mikrootvorov musia byť hladké, aby sa znížil odpor prúdenia tekutiny, zabránilo sa adsorpcii vzorky a zvýšila sa citlivosť detekcie. Femtosekundové lasery so svojou ultra-krátkou šírkou impulzu zaisťujú dobré výsledky leptania, pričom minimalizujú pretavené vrstvy, otrepy a mikro-trhliny. V dôsledku toho môže byť drsnosť povrchu konvenčných slepých drážok a slepých otvorov kontrolovaná v rozmedzí 0,4 μm, čo efektívne spĺňa požiadavky na výrobu mikrofluidných čipov.
3. Prispôsobivosť materiálu: Okrem skla sa mikrofluidné čipy vyrábajú zo širokej škály materiálov vrátane polymérnych materiálov (napr. Pi film, PDMS film), kremíka a keramiky. Výroba mikrofluidných čipov sa preto musí prispôsobiť vlastnostiam rôznych materiálov. Femtosekundové lasery s extrémne vysokým špičkovým výkonom dokážu okamžite odstraňovať materiály, vďaka čomu sú vhodné na spracovanie rôznych materiálov. Či už ide o materiály na báze kremíka, skla alebo filmu-, femtosekundové lasery možno použiť na výrobu mikrokanálov a slepých otvorov.

(PDMS Membrane Microholes: Prípadová štúdia výroby)
Záver
Femtosekundová laserová technológia spôsobila revolúciu vo výrobe mikrofluidných čipov, ktoré sú základnými nástrojmi v biológii, chémii a medicíne. Výkon týchto čipov do značnej miery závisí od presnosti ich mikrokanálov a mikrootvorov, čo je štandard, ktorý tradičné výrobné metódy často nedokážu splniť kvôli obmedzeniam v presnosti, účinnosti a materiálovej kompatibilite.

Mikro a nano presné laserové zariadenia na spracovanie
Naproti tomu spracovanie femtosekundovým laserom ponúka významné výhody vrátane vysokej presnosti, bez{0}}kontaktnej prevádzky, širokej prispôsobivosti materiálu a minimálnej drsnosti povrchu. Presným riadením rozmerov a tvarov mikrokanálov a mikrootvorov, optimalizáciou drsnosti povrchu a prispôsobením sa rôznym materiálom (ako je sklo, kremík a polyméry) poskytujú femtosekundové lasery spoľahlivé riešenie pre komplexný dizajn a efektívnu výrobu mikrofluidných čipov.
Pri pohľade do budúcnosti, keďže technológia femtosekundového lasera neustále napreduje, očakáva sa, že jej aplikácie v oblasti mikrofluidných čipov sa budú rozširovať, čo bude viesť k inováciám a širšiemu prijatiu v oblastiach, ako je presná medicína, monitorovanie životného prostredia a bioanalýza.

